2022年11月17 日，華進半導體“硅基光電晶元端面耦合器與TSV一體化三維集成技術”成功入選中國半導體行業協會發布的“第十五屆中國半導體創新產品和技術”。本屆評選活動經過形式審查、初步評審，以及專家委員會評審(分四個組、六個方向)等環節，最終從215個申報項目中評選出34個獲獎項目，獎項包括集成電路產品和設計技術，集成電路制造技術，集成電路封裝與測試技術，半導體分立器件(含模塊)、光電器件、MEMS，半導體專用設備，半導體專用材料等領域的創新產品和技術。

硅光三維集成封裝技術是以硅基光電子學為基礎、實現高集成密度的新型光電混合集成技術，該技術結合了集成電路技術的超大規模、超高精度制造的特性和光子技術超高速率、超低功耗的優勢。華進半導體開發的硅基光電晶圓端面耦合器與TSV一體化三維集成技術對下一代光電共封（CPO）的實現具有重要意義，開發成果可應用于高性能數據中心、相干通訊、5G通信、激光雷達和光子計算等領域。技術創新成果為國內外知名企業、研究單位進行了數百項技術服務，并獲得了大規模應用。

（聯盟秘書處）